EDX-LE能量色散X射線分析是x射線能譜分析的一種儀器。在電子與物質相互作用時,采用能聚焦的入射電子可以激發(fā)初級x射線,不同元素發(fā)射出來的特征x射線波長不同,能量也不同。利用x射線能量不同而展譜一般稱為x射線能譜分析或能量色散x射線分析,所用設備通常稱為能量色散譜儀。
EDX-LE能量色散X射線分析主要單元是半導體探測器及多道脈沖高度分析器,用以將特征x射線按能量展i}}Er7,5的分辨率遠不如波長色散譜儀,它有分析速度快的優(yōu)點,和通用的x射線波長色散譜儀相比可提高10倍,如果進行物相鑒定,只需幾分鐘就可以得到被測物質的全部衍射花樣。
X射線熒光分析技術作為一種快速分析手段,為我國的相關生產企業(yè)提供了一種可行的、低成本的、并且是及時的,檢測、篩選和控制有害元素含量的有效途徑;相對于其他分析方法,XRF具有無需對樣品進行特別的化學處理、快速、方便、測量成本低等明顯優(yōu)勢,特別適合用于各類相關生產企業(yè)作為過程控制和檢測使用。
由于波長色散和能量色散類型X熒光分析儀各自的技術特點,兩種類型儀器所側重的應用方案也不盡相同;波長色散X熒光分析儀具有較高的測量精度,但同時需要對被測量樣品進行簡單處理,更適用于進廠原材料、半成品、成品的準確檢測和質量控制。
而EDX-LE能量色散X射線分析雖然測量精度稍差,但具有快速、直接測量各種形狀樣品的優(yōu)點,因此可直接在生產線上用于各種部件、電子元器件的檢測。