EDX-LE能量色散X射線分析是X射線能譜分析的一種儀器。在電子與物質相互作用時,采用能聚焦的入射電子可以激發(fā)初級X射線,不同元素發(fā)射出來的特征X射線波長不同,能量也不同。利用X射線能量不同而展譜一般稱為X射線能譜分析或能量色散X射線分析,所用設備通常稱為能量色散譜儀。
EDX-LE能量色散X射線分析的主要單元是半導體探測器及多道脈沖高度分析器,用以將特征X射線按能量展i}}Er7,5的分辨率遠不如波長色散譜儀,它有分析速度快的優(yōu)點,和通用的X射線波長色散譜儀相比可提高10倍,如果進行物相鑒定,只需幾分鐘就可以得到被測物質的全部衍射花樣。
根據分光方式的不同,X射線熒光分析可分為能量色散和波長色散兩類,也就是通常所說的能譜儀和波譜儀,縮寫為EDXRF和WDXRF。通過測定熒光X射線的能量實現對被測樣品的分析的方式稱之為能量色散X射線熒光分析,相應的儀器稱之為能譜儀,通過測定熒光X射線的波長實現對被測樣品分析的方式稱之為波長色散X射線熒光分析,相應的儀器稱之為X射線熒光光譜儀。
就能量色散型儀器而言,根據選用探測器的不同,X射線熒光分析儀可分為半導體探測器和正比計數管兩種主要類型。根據分析能力的大小還可分為多元素分析儀器和個別元素分析儀器。這種稱呼多用于能量色散型儀器。
X射線熒光分析不僅材料科學、生命科學、環(huán)境科學等普遍采用的一種快速、準確而又經濟的多元素分析方法。也是X射線熒光光譜儀也是野外現場分析和過程控制分析等方面常選儀器之一。同時,成為地質、冶金、建材、石油化工、半導體工業(yè)和醫(yī)藥衛(wèi)生等領域的重要分析手段。